三次元測量儀主要是指通過在三維空間取點進行測量的儀器。其主要原理是將被測物體放置在三維測量空間中，可以獲得被測物體上每個測量點的坐標位置。根據這些點的空間坐標值，可以計算被測物體的幾何尺寸、形狀和位置。三次元測量儀基本原理是通過檢驗傳感器(探頭)的配合和測量空間軸的移動，獲得被測幾何元素的離散空間點位置。然后，通過一定的數學計算，完成被測點(點群)的分析和擬合，還原被測幾何元素。在此基礎上，計算被測幾何元素與理論值(標稱值)之間的偏差，從而完成被測零件的檢查。